AERA在数字MFC可靠性和性能方面享有很高的声誉，拥有超过10万个数字MFC单元。应用在各种生产工艺中包括CVD、PVD、扩散和蚀刻。经过AERA数字质量流量控制器(MFCS)和质量流量计(MFMs)将改良您的过程，提供卓越灵活性、提高产量，提高生产率，降低成本。用AERA独有的先进的传感器和阀门技术，业内广泛采用的优秀部件和高速响应的数字电路各。可以提供非常精确的气流控制和测量。具有卓越的可靠性和卓越的响应性、准确性和重复性。多气体、多量程功能的应用充分结合了客户低成本…